1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述 一.课题研究背景及意义 等离子体是固体、液体、气体三态以外的物质第四态，主要由电子、离子、原子、分子、活性自由基等组成，占宇宙空间可见物质总量的99%，但是在大气压、低温的等离子体在自然界极少存在。

根据热力学平衡状态，等离子体可以分为热力学平衡状态的高温等离子体、局部热力学平衡状态的热等离子体、非热力学平衡状态的低温等离子体。

高温等离子体中的电子温度、离子温度及气体温度完全一致，热等离子体仅在局部范围的电子温度、离子温度和气体温度达到平衡状态，低温等离子体中的电子温度较高达几千开尔文，而离子温度及气体温度则接近室温。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

要研究或解决的问题： 一方面传统的单管等离子体射流作用面积较小，难以满足实际应用中较大面积的处理需求。

另一方面实验中常用的高频交流电源驱动的等离子体射流过程中发热较多，能量损耗大，粒子活性不高，限制了等离子体射流其进一步应用与发展。

近年来，脉冲电源驱动的等离子体射流因为具有更高的击穿电压，产生更多的高能电子，发热少等特性逐渐成为研究热点。