1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

摘要：本文介绍了原子层沉积技术的基本工作原理，特性以及基础技术的各种优化。简要介绍了商用计算流体力学软件”fluent”及其应用。利用fluent软件模拟计算ald腔体内流体流动状态，计算出流体速率，压力，温度分布，以及表面反应速率随温度、压力的变化，优化表面反应过程，开发新的反应条件，节约时间和成本。设计新型反应器。

关键词：原子层沉积 计算流体力学 优化

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

本课题拟使用FLUENT软件模拟ALD腔体内流体流动状态，考察腔体内流体流速，压力，温度分布，以及不同温度压力下，表面反应速率变化情况，考察基底不同位置，其表面反应速率分布，优化反应过程，使表面反应更加均匀。优化反应条件，对于开发新的反应条件节约时间和成本，设计新型反应器奠定基础。