1. 研究目的与意义（文献综述）

1目的及意义（含国内外的研究现状分析）

1.1目的及意义

电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，是将被测非电量的变化装换成电容量变化的一种传感器。具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。随着电容测量技术的迅速发展，电容式传感器在非电量测量和自动检测中得到了广泛的应用。我国研究的电容位移传感器在测量范围、分辨率、非线性误差等方面指标较国外水平存在一定差距。

2. 研究的基本内容与方案

2、基本内容和技术方案

2.1基本内容：

差动电容式小位移传感器极板间的距离变化小，从而电容量变化也是十分的小，变化的量不易观察与测量，设计差动电容式小位移传感器实现对极板移动方向的辨别，并测算其移动距离。

3. 研究计划与安排

第01周 收集资料、阅读相关的文献；

第02周～第03周 查阅资料了解系统架构原理并且完成开题报告；

第04周～第09周 完成基本的功能性单元电路测试和系统架构设计；

4. 参考文献（12篇以上）

[1] 郑银涛.基于平板式电容的微位移测量系统设计.2010

[2] 王碧波基于精密电容微位移传感的两维纳米级定位系统的研究.2005

[3] 潘炼.传感器原理及应用.2012