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1. 研究目的与意义及国内外研究现状

目的：

（1） 制备出电阻率低且透光率高的掺铝氧化锌薄膜。

（2） 研究制备出来的掺铝氧化锌薄膜的结构及光电性质与铝掺杂浓度之间的关系。

2. 研究的基本内容

（1）通过文献调研，掌握zno薄膜的电子束蒸发制备程序，了解al掺杂浓度等对zno薄膜的结构、光学以及电学性质的影响，为制备azo薄膜奠定基础；

（2）采用电子束蒸发制备al掺杂的zno透明导电薄膜，通过调控掺杂浓度制备出具有低电阻率和高透明度的薄膜样品；

（3）利用x射线衍射分析样品的晶体结构，利用电子显微镜或原子力显微镜观察样品的形貌，利用x射线散射光电子能谱确定样品的组分，采用紫外-可见分光光度计分析样品的光学性质，采用霍尔效应测试仪分析薄膜的电学性质；

3. 实施方案、进度安排及预期效果

实行方案：

（1）样品制备：

利用电子束蒸发法在玻璃衬底上制备掺al的zno薄膜

4. 参考文献

[1] 郭志民, 丁元法, 李云飞. 掺杂 zno 透明导电薄膜研究进展[j]. 化工新型材料, 2014, 42(3): 16-18.

[2] 温晓莉, 陈长乐, 陈钊, 等. zno 基半导体薄膜材料的研究进展[j]. 材料导报, 2007, 21(f05): 47-49.

[3] 刘玉萍. azo (zno∶ al) 透明导电薄膜的 pecvd 制备及其光电特性的研究[d]. 华中科技大学, 2007.