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基于椭圆偏振法的超薄贵金属薄膜折射率的测量任务书

 2020-02-20 18:04:07  

1. 毕业设计(论文)主要内容:

纳米级贵金属薄膜的光学常数在薄膜厚度低于某一临界点后,数值上与体材料表现出较大差异。随着薄膜厚度的变化,光学常数呈现出相应的规律性剧烈变化。金属薄膜材料的低厚度光学常数实验结果是金属光学性质研究中的重要部分。在众多纳米级薄膜光学常数测量方法中,椭圆偏振法具有精度高、无损伤和不受材料限制等优点,是如今应用最为广泛的光学常数检测手段。用椭圆偏振光在特定角度照射薄膜,得到相应的透射和反射光谱、光强和相位信息,可以推导出薄膜的厚度和光学常数。论文的研究目标主要是测量不同材料的厚度临界点,光学常数随厚度的变化趋势以及不同厚度下的光学常数曲线。

2. 毕业设计(论文)主要任务及要求

设计(论文)完成的主要任务:

1、了解纳米级金属薄膜厚度和光学常数的常用检测方法,特别是能够实现超薄检测(lt;30nm)的方法,对比椭圆偏振方法与其他检测方法特别是光学测量方法的优劣;掌握椭圆偏振法的检测原理;

2、查阅相关文献,了解金属光学常数的物理含义,分析影响因素;分析超薄金属薄膜的检测难点,选择可行的具体方案;

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3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排

第7学期:完成选题和任务布置

第8学期:

第1-3周:查阅相关文献资料,明确研究内容,了解超薄贵金属薄膜厚度和光学常数的测量方法,并掌握光学常数与薄膜厚度的关系,完成开题报告;

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4. 主要参考文献

[1] reale c. optical constants of vacuum deposited thin metal filmsin the near infrared[j]. infrared physics, 1970, 10(3): 173-181.

[2] yim c, o"brien m,mcevoy n, et al. investigation of the optical properties of mos2 thin filmsusing spectroscopic ellipsometry[j]. applied physics letters, 2014,104(10): 103114.

[3] johnson p b, christy r w. optical constants of the noble metals[j].physical review b (solid state), 1972, 6(12): 4370-4379.

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