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1. 研究目的与意义及国内外研究现状

表面粗糙度作为评价工件质量的主要指标，也是影响物质表面性能的重要物理特性之一，研究快捷和精密的表面粗糙度检测方法一直是研究人员、机械加工和制造业技术人员追求的目标。激光散射法测量工件表面粗糙度由于非接触、无破坏、易实现快速和自动化并且可以直接得到表面粗糙度的特征参数，是一种很有发展前途的表面粗糙度测量的光学方法。

通过光学系统的设计并进行实验达到以下目标

1.了解基于光散射的表面粗糙度测量方法的最新进展

2. 研究的基本内容

1.散射法表面粗糙度测量的数学模型的分析研究

2. 光学测量系统的设计优化

3.根据所设计的系统进行实验，并对数据进行处理分析，总结所设计的优点与不足

3. 实施方案、进度安排及预期效果

实行方案：运用zemax设计（或优化）光散射表面粗糙度测量系统，并根据所设计的系统进行实验。

准备阶段（2015.12.1—2016.2.20）：

阅读、总结相关文献资料，学习与课题相关的知识，了解

4. 参考文献

[1] 刘晨，卢荣胜，陈磊，王骏武.基于光学法表面粗糙度的测量研究进展[j].半导体光电,2010,31(4):495-500

[2]胡凤兰, 董丽君, 高为国.利用激光散射原理测量零件的表面粗糙度[j].湖南工程学院学报，2006,16(4):39-41

[3]王伦.基于激光散射原理的表面粗糙度测量方法研究[j].现代显示，2011,124:32-33