文 献 综 述

1.概述

近年来关于介质阻挡放电(DBD) 原理产生低温等离子的研究一直是国内外关注的

热点之一,而且对各种条件下放电特性的研究也逐渐深入。介质阻挡放电能够在常温常压下产生大面积、高能量密度的低温非平衡等离子体，易于实现大规模连续化工业运行，被广泛用于臭氧发生器、高功率CO₂激光器、紫外准分子灯和材料表面改性处理等工业领域。在实际应用中，DBD反应器在不同的工作条件下，可以满足不同的生产目的和要求，因此研究不同条件下DBD的放电特性对优化其反应器设计、提高放电效率以及实现DBD等离子体的大规模工业应用具有重要意义。

介质阻挡放电（DBD），是有绝缘介质插入放电空间的一种气体放电形式。在两个放电电极之间充满某种工作气体，并将其中一个或两个电极用绝缘介质覆盖，也可以将介质直接悬挂在放电空间或采用颗粒状的介质填充其中，当两电极间施加足够高的交流电压时，电极间的气体会被击穿而产生放电，即产生了介质阻挡放电。

目前DBD研究中最常用的电源都是工频交流或者高频交流。随着脉冲电源的发展，单极性脉冲高压被应用在产生DBD上。并且越来越多的研究发现，相比于交流高压，单极性脉冲高压激发的DBD可以在大大降低输入功率的情况下产生较为均匀的大气压放电，而且施加脉冲的上升沿越陡,可能对实现均匀放电越有利。因此我们建立脉冲电源驱动下DBD 的实验装置、测量系统和仿真模型。

1.1介质阻挡放电的典型结构

介质阻挡放电的基本形式，典型的介质阻挡放电和间隙结构如图1：

图1 装置结构

以最简单的电极结构为例，这些电极和间隙结构可以是平面形的，也可以是同轴圆柱形的。放电发生在两层介质之间，可以防止放电等离子体直接与金属电极接触。对于具有腐蚀性气体或高纯度等离子体，这种构型具有独特的特点。