1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述

1多晶硅产业概述

1.1多晶硅

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

本课题着重研究多晶硅生产尾气的处理与回收，以及对尾气回收流程进行进一步的优化，使其达到更好的可靠性和经济性。

拟采用的研究手段为先进行工艺计算，通过Aspen Plus软件进行物料衡算，热量衡算，对尾气回收流程进行模拟及进一步的优化，确定最佳流程方案，运用CAD绘图软件绘制物料流程图（PFD）、管道及仪表流程图（PID）、设备布置图，使用PDS软件绘制部分设备管道的三维安装及走向图。