1. 毕业设计（论文）主要内容：

金属氧化物（mos）传感器是目前应用最为广泛的一类气体传感器。mos传感器目前存在的最大问题在于选择性不足。h2测量在航空航天、能源工业中有重要地位。本论文采用cvd法在mos气体传感器表面制备表面改性层，以提高传感器对h2的选择性和敏感性。毕业论文主要内容包括：

1. 文献调研，了解国内外相关研究概况和发展趋势；

2. cvd法制备sio2改性层、制备气体传感器；

2. 毕业设计（论文）主要任务及要求

1.查阅不少于15篇的参考文献（其中近5年英文文献不少于3篇），完成开题报告；

2.完成sio2改性层制备、传感器制备；

3.完成材料的表面形貌和气敏性能分析；

3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排

第1－3周：查阅相关文献资料，完成英文翻译。明确研究内容，了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案，并完成开题报告。

第4－7周：按照设计方案，完成传感器制备。

第8－11周：sem分析、氢气、vocs气敏性能测量。

4. 主要参考文献

[1] mehrdad asgari, fahimeh hooriabad saboor, yadollah mortazavi, abbasali khodadadi. sno2 decorated sio2 chemical sensors: enhanced sensingperformance toward ethanol and acetone [j]. materials science in semiconductorprocessing, 2017, 68: 87-96.

[2] ye zhu, zhixuan cheng, qun xiang, xikun chen, jiaqiang xu. synthesisof functionalized mesoporous tio2-sio2 with organic fluoroalcohol as highperformance dmmp gas sensor [j]. sensors and actuators b, 2017, 248: 785-792.

[3] l. fekri aval, s.m. elahi, e. darabi, s.a. sebt. comparison of themos capacitor hydrogen sensors with different sio2 film thicknesses and ani-gate film in a 4% hydrogen–nitrogen mixture [j]. sensors and actuators b,2015, 216: 367-373.