CVD制备SiO2改性层及对MOS气体传感器性能的影响开题报告
2020-04-23 19:57:23
1. 研究目的与意义(文献综述)
1.1氢气能源的基本状况
氢气由于其燃烧效率高、产物无污染等优点 ,与太阳能、核能一起被称为三大新能源。作为一种新能源 ,氢气在航空、动力等领域得到广泛的应用;同时,氢气作为一种还原性气体和载气,在化工、电子、医疗、金属冶炼,特别在军事国防领域有着极为重要的应用价值。但氢气分子很小,在生产、储存、运输和使用的过程中易泄漏,由于氢气不利于呼吸,无色无味,不能被人鼻所发觉,且着火点仅为 585 ℃,空气中含量在 4%~75%范围内 ,遇明火即发生爆炸 ,故在氢气的使用中必须利用氢气传感器对环境中氢气的含量进行检测并对其泄漏进行监测。
1.2氢气传感器
2. 研究的基本内容与方案
2.1材料制备:sno2粉末,99.5%ar,阿拉丁;yy-1010多孔膜印油(武汉华创锐科);tc-5010传感器基片,将sno2粉末与印油按1:1的质量比混合制成浆料,并通过丝网印刷技术把浆料印在基片上,利cvd技术在snow2氢气传感器上附sio2。
材料表征 用cvd技术覆盖sio2,用xrd,tem、sem对其形貌结构及元素构成进行分析,eds进行元素分析,电化学方法测试气敏性能。
2.2 研究目标
3. 研究计划与安排
第一周—第二周:查阅相关文献资料,完成英文翻译。明确研究内容,了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案,并完成开题报告。
第三周—第四周:按照设计方案,完成cvd制备sio2改性层实验。
第五周—第六周:通xrd,tem,sem,tem,eds等表征手段对复合材料的物相,微观结构及元素构成进行分析并完成气体传感器的气敏性能。
4. 参考文献(12篇以上)
[1] andronov, d.y.; arseniev, d.g.; polyanskiy, a.m.; polyanskiy, v.a.; yakovlev, y.a. application of multichannel diffusion model to analysis of hydrogen measurements in solid[j]. international journal of hydrogen energy, 2017, 42:699–710.
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[3] vaezi m r, sadrnezhaad s k. gas sensing behavior of nano-structure-d sensors based on tin oxide synthesized with different methods[j]. materials science and engineering b, 2007, 140:73-80.