1. 毕业设计（论文）的内容和要求

1、毕业论文的内容 （1）查阅文献50篇以上，其中英文文献不少于30篇（近5年），撰写文献综述1份； （2）翻译近三年内相关外文文献至少1篇； （3）撰写开题报告及开题ppt一份，参加开题答辩； （4）试样准备：准备8个玻璃片、12个p型（100）si片、8个直径为35mm的铝合金试样（经过400，600,1500,2000号砂纸预磨），抛光。

（5）试样清洗：将抛光后的试样分别用酒精清洗3次，每次10min，吹干后备用 （6）查阅文献和书籍，熟悉磁控溅射离子镀设备的结构和特点，了解衬底温度对aln镀层微观性能和绝缘导热性能的影响，掌握aln镀层的制备方法； （7）制定实验设计方案； （8）实验并进行相关检测分析，撰写中期报告一份并进行中期答辩； （9）总结实验结果，并进行相关实验补充； （10）处理数据，对实验结果进行归纳和分析，撰写毕业论文； （11）参加毕业答辩。

2、毕业论文的要求 （1）掌握中外文文献查阅方式； （2）熟悉磁控溅射设备原理及其操作方法； （3）熟悉相关检测设备，并能够独立完成数据处理； （4）能够独立分析解决问题，并完成毕业论文的撰写； （5）要求学生有吃苦耐劳的精神； （6）要求学生论文结构合理、层次清楚、论证充分、格式规范； （7）要求学生能够独立思考，有自己创新的观点。

2. 参考文献

[1]李金刚. PCB板特性阻抗测试方法研究[J]. 电子科技, 2013, 26(11):77. [2]何兵兵,傅仁利等. 无机填料粒子的几何特征对环氧树脂灌封胶导热性能的影响[J]. 中国胶粘剂, 2010,19(7):20-24. [3]李瑞霞. 氮化铝薄膜制备及性能研究[D]. 西华大学, 2009. [4]Slack G A, Tanzilli R A, Pohli R O and Vandersande J W 1987 J. Phys. Chem. Solids 48 647 [5]姜雪峰, 刘清才, 王海波. 多弧离子镀技术及其应用[J]. 重庆大学学报:自然科学版, 2006, 29(10):55. [6]李海翼. 磁控溅射沉积氮化铝薄膜及其光学性能的研究[D]. 南昌大学, 2010. [7]Cheng - Li ang Huang , Kok - Wan Tay , Long Wu. Aluminum nitride films deposited under various sputtering parameters on molybdenum,2013,30(2):141-142.. [8]于春花, 陈希明, 李化鹏. 射频功率对射频磁控反应溅射制备AlN薄膜的影响[J]. 天津理工大学学报, 2007, 23(3):29-31. [9]Q. X. Guo , K. Yahat a, T .Tanak a, at el. Low - temperature growth of aluminum nitride on sapphire substrates. Journal of Crystal Growth.2003 , (257) :123-128 [10]曹昕, 罗晋生, 陈堂胜等. 直流磁控溅射制备用于GaAs MESFET 钝化的AlN的工艺研究. 半导体学报, 2009 , 20(8), 644 - 649. [11]Sproul W, Christie D, Carter D.Control of reactive sputtering processes [J]. Thin Solid Films,2005,491(1- 2):1- 17. [12]Venkataraj S et al . Structural, optical and mechanical properties of aluminium nitride films prepared by reactive DC magnetron sputtering[J]. Thin Solid Films, 2006,502(1- 2):235- 239.

3. 毕业设计（论文）进程安排

2018.12.28-2019.01.02 毕业论文选题 参加讨论 2019.01.03-2019.01.17 文献查阅、文献综述及开题报告撰写 参加讨论 2019.01.18-2019.01.20 开题 参加开题答辩 2019.01.21-2019.01.28 外文文献翻译 参加讨论 2019.03.01-2019.03.10 实验方案制定，实验材料准备 参加讨论 2019.03.11-2019.03.31 前期实验研究，实验结果分析 参加讨论 2019.04.01-2019.04.10 撰写中期报告 参加中期答辩 2019.04.11-2019.04.30 总结实验结果，补充实验 参加讨论 2019.05.01-2019.05.30 撰写毕业论文 参加毕业答辩