1.硅麦的定义

硅麦又称MEMS麦克风，是基于MEMS技术制造的麦克风，由MEMS升压传感器芯片，ASIC芯片，音腔和RF抑制电路组成。MEMS声压传感器是一个由硅振膜和硅背极板构成的微型电容器，能将声压变化转化为电容变化，然后由ASIC芯片降电容变化转化为电信号，实现"声--音"转换。

2.硅麦的结构

3.硅麦的工作过程

4.硅麦的发展

碳精电极麦克风（1876）→铝带式麦克风（1923）→动圈式麦克风→电容式麦克风→硅麦

随着近年来MEMS传感器的增长，MEMS（微机电系统）麦克风成为MEMS市场中应用成功的又一典型。据iSuppli公司预计，到2013年全球MEMS麦克风的出货量将达到12亿块。相对于现有的ECM(驻极体麦克风)，MEMS麦克风具有很好的性能优势。其原因在于MEMS麦克风尺寸较小、灵敏度高、信噪比高、与数字信号处理电路具有适应性。在封装工艺上，相对于大多数驻极体麦克风仍需手工焊接，由于硅衬底耐热性能好，MEMS麦克风可以直接采用全自动SMT封装，这不仅简化生产流程，降低生产成本，更能够提高产品竞争力。

2. 研究的基本内容与方案

一、基本内容