传感器技术作为信息技术的三大基础之一，是当前各发达国家竞相发展的高新技术，是进入21世纪以来优先发展的十大顶尖技术之一。

传感器技术作为信息技术的三大基础之一，是当前各发达国家竞相发展的高新技术，是进入21世纪以来优先发展的十大顶尖技术之一。

传感器技术所涉及的知识领域非常广泛，其研究和发展也越来越多地和其他学科技术的发展紧密联系。

八十年代之前的半导体压力传感器是主要是基于压阻原理的，工作性能良好，但由于输出信号振幅较小(10-100mV)，且具有大的热漂移，压阻式传感器需要较贵的校准设备和补偿工序。

于是人们又开始考虑制造电容式压力传感器。

压力传感器技术发展快速，而其中，电容式压力传感器由于具有高灵敏度、结构简单易实现、受温度影响小及动态响应特性良好等诸多优点。

一 本课题的研究现状 1992 年，Tomio Nagata 等专家，通过刻苦攻关，设计出低量程压力检测的电容式压力传感器，主要运用的是 CMOS 工艺。

与此同时，Rosengren, Soderkvist和 Smith 等人设计出的传感器电容压力值呈线性关系，得益于现有的高科技微机械加工技术。

在此期间，为了让电容检测电路不受温度的影响，使用到非常智能的集成芯片来进行补偿，经过无数试验以及优化改进，最终取得了非常好的设计参数。

2004 年，美国西储大学的 Darrin J. Young 等专家提出一个采用 3C-SiC 材料作为膜片的电容式高温压力传感器。