1. 毕业设计（论文）主要内容：

1) 分析和整理浸没式光刻注液控制回路设计需求；

2) 调研国内外同行业解决方案及关键技术；

3) 分析浸没式光刻注液控制回路动作时序；

4) 设计浸没式光刻注液控制回路结构。

2. 毕业设计（论文）主要任务及要求

1) 查阅中外文资料，外文参考资料阅读量不少于10万印刷字符。

2) 完成不少于2万英文（5000汉字）印刷符，且与选题相关的文献翻译。

3) 撰写开题报告；

4) 完成浸没式光刻注液控制回路需求规格说明书；

3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排

第1-2周:查阅文献资料；完成外文翻译

第3-4周:撰写开题报告；

第5-6周:分析和整理浸没式光刻注液控制回路设计需求；

4. 主要参考文献

[1]巴静. 基于pvdf的光刻机流场压力检测方法的研究[z]. 浙江大学. 2011：硕士.

[2] lin b j. the ending of optical lithography and the prospects of its successors. 2006（4）：9.

[3] rehan sadiq、yehuda kleiner、balvant rajani. aggregative risk analysis for water quality failure in distribution networks. journal of water supply：research and technology-aqua. 2004.

[4]傅新、陈晖、陈文昱、陈颖. 光刻机浸没液体控制系统的研究现状及进展[j]. 机械工程学报. 2010（16）：170-175.