文 献 综 述 1.电泳沉积 1.1背景 电泳沉积（Electrophoretic deposition,EPD）是指胶体粒子在直流电场作用下于稳定悬浮液中沉积而成材料。

由此可知该方法包括两个步骤：电泳与沉积[1,2]。

沉积有很多种方法，较广泛应用的有化学气相沉积、熔体法以及溶液法。

相较于这些方法，电泳沉积具有几个显著的优点：(1)电泳沉积原料获取容易，成本相对低，装置简便，易于操作，晶体掺杂过程可控；(2)其是非线性过程，对于形貌复杂以及多孔的基底也能进行沉积，对晶体生长结构缺陷也能进行控制；(3)沉积的温度较低，对材料起到了保护作用，避免了在高温下材料的脆裂与相变；(4)其有助于对晶体的位错密度及电子结构进行控制以及改善，可进行均匀掺杂与分布；(5)电泳沉积法可以根据不同种元素不同的迁移特性而进行指定制备，如在三元或者四元溶液中实现晶体生长[3]。

19世纪之初，俄科学家Ruess将电泳技术用于Pt电极上ThO2的沉积。

20世纪90年代前，电泳沉积技术主要用于珐琅等传统陶瓷的生产。

伴随着新材料如纳米材料的研究与制备，电泳沉积在近30年间得到了进一步的研究与应用，取得了长足的进步，获得了极大的发展[3,4]。

1.2研究现状 通过电泳沉积的方法, Cengiz[5]成功制备了表层为硬质Al2O3、内层为坚硬Al2O3-Y-TZP化合物的功能薄膜。

卢立柱等[6]在乙酰丙酮内电泳沉积钇稳定二氧化锆(8YSZ)粒子,于金属陶瓷Ni-8YSZ基片获得一定特性的功能薄膜。

Zhitomirsky等[7]将超细氧化锆和氧化铝粉末溶于异丙醇,于碳纤维上电泳沉积出了一定厚度的Al2O3/ZrO2多层膜。