1. 研究目的与意义（文献综述）

目的：

利用粒子蒙特卡洛(pic/mc)模型，计算机模拟一维等离子体气体放电的物理过程，从而在定性的基础上进一步给出定量的计算结果，并计算得出等离子体密度、温度、电势、电场和粒子通量等放电特性。

意义：

2. 研究的基本内容与方案

基本内容：

基于粒子蒙特卡洛(pic/mc)模型，对一维低气压co₂气体放电的运动学行为进行数值模拟。

目标：

3. 研究计划与安排

第1-3周查阅频率调制的射频微放电的文献，明确研究意义、目的、方法、内容及完成开题报告。

第4-5：掌握理论方法和模拟代码（pic/mc）。

第6-9：根据理论公式，修改程序代码。

4. 参考文献（12篇以上）

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