1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

一、选题背景及意义 介质阻挡放电( dielectric barrier discharge)，又称无声放电，是一种典型的非平衡态交流气体放电，其实验装置主要结构特征是至少有1个电极的表面覆盖有电介质，当外加驱动电压达到并超过击穿电压时。

气体被击穿从而形成放电，由于介质层的阻挡作用,在放电气隙间会出现大量的微放电丝[1-5]。

由于具有这种形式的放电，介质阻挡放( dbd)成为产生非平衡的低温等离子体的一种很有效的方法，其能够在大气压下产生稳定的大面积低温等离子体，其产生设备简单，适合大规模连续运行，节省能源，无二次污染，满足节能环保的要求，因而在工业领域得到了广泛的应用。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

本课题需要解决的问题 由国内外研究现状可知，通常dbd采用he、ar、n2等易均匀放电气体作为工作气体，然而纯he、ar或n2等气体dbd中活性粒子种类单一，化学活性有限，无法满足dbd众多实际应用领域对高活性等离子体源的需要。

一些研究者已在dbd放电气体中添加h2o增加等离子体中oh自由基含量，并开展了一些放电特性及应用研究，结果表明在放电气体he、ar、n2等中添加h2o，可以有效提高等离子体活性，并在众多dbd等离子体应用领域显示出更好的处理效果。

近年来，随着脉冲功率技术的发展，纳秒脉冲电源被用于高活性dbd等离子体源制备及应用。