1 引言 单晶硅太阳电池由于其相对高的效率和低的成本而备受关注。

人们为了提高电池效率[1-2]，降低电池成本，进行了很多有益的探讨。

在晶体硅电池中，表面制绒一直备受关注，通过表面制绒可以有效降低表面反射率并提高电池对入射光的吸收，进而增加电池效率 。

金字塔微结构与晶体光电性能密切相关，而有调节单晶硅表面结构的基本原理是有效调控不同晶面硅与酸碱的反应速度，但实验上操作起来比较困难，原因是硅与酸碱反应是一个相对复杂过程，不受人为控制现阶段，单晶硅表面微结构的调控技术，是利用碱与硅异向腐蚀原理，即碱液对硅片(100)和(111)晶向的腐蚀速度不同，在单晶硅表面形成随机分布的金字塔微结构[3-6]。

本实验的目的，是在已有的常规单晶硅制绒方案的基础上，探索制备一致性好，尺寸大的金字塔绒面陷光结构，降低硅片表面反射率。

2 单晶硅表面金字塔形成机理 2.1 单晶硅表面金字塔成核阶段 在普通碱液配方中添加添加剂2mL ，实验温度控制在79~80℃、腐蚀时间为10 min获得单晶硅样品SEM见图l( a)、（b)，其放大倍数分别是3000 、1000。

从图l( a) 中可以看出:把单晶硅片放在普通碱液配方十特种添加剂的腐蚀液中，经过10min的腐蚀，单晶硅表面存在大面积的平滑区，但金字塔已经出现，其中最大的金字塔尺寸为 10微米，最小的1微米.。

从图1(b)中可以看出，在大面积上金字塔小岛分布较广泛、均匀[7]在单晶硅表面上，成核阶段开始出现的这些金字塔决定了最后获得的表面绒面金字塔的形貌与分布。

一般情况下，成核阶段出现的小金字塔越多，最后在晶硅表面上形成的金字塔尺寸小。

同时，金字塔的尺寸也较均匀，单位面积上金字塔也越多，能形成良好的金字塔绒面。