文 献 综 述 1引言 薄膜光学最早萌生于十七世纪中叶，在1930年出现了油扩散泵使商用镀膜机得以问世之后得到真正的发展[1]。

近几十年来，尤其是，计算机的广泛应用以来的光学薄膜和薄膜技术和制备工艺已迅速的发展，形成了一个蓬勃发展的局面。

光学薄膜技术在生活中的各个领域应用都及其广泛，如摄像机，望远镜，低压钠灯等，在光通信中也有较多应用。

利用减反射功能，光学薄膜可以将光线在元件表面发生反射时将光的损耗降到最低，因而使光学器件和光学系统的功能更加的完美。

减反射膜，又称增透膜，它的主要功能是减少或消除透镜、棱镜、平面镜等光学表面的反射光，从而增加这些元件的透光量，减少或消除系统的杂散光。

太阳电池是一种把光能转换为电能的半导体光电器件，它的光电转换效率的提高是长期以来人们一直致力解决的问题[2]。

采用减反射膜提高太阳能电池效率是最直接的手段之一。

国内以前研究较多的是无机单层减反射膜，如SiN、SiO、TaO、TiO、AlO等，也有一些有机高分子材料的减反射膜研究性报导，但减反射效果不够理想，而现在多研究双层减反射膜如MgF/ZnS、MgF/TiO等或三层减反射膜有很好的效果[3]。

国外在这一领域起步很早，国外大公司在这一领域已经进行了很多研究并获得专利权，而国内企业在这一领域起步较晚，并且在大量外国专利的现有技术基础上，国内企业在多层减反射膜领域将为突破传统的技术带来新的机遇，为全球多层减反射膜领域打开另一扇明亮的窗户。

2减反射膜的光学原理 减反射膜是以光的波动性和干涉现象为基础的。