1. 研究目的与意义（文献综述）

目的：

（1） 探究通过化学法制备得bnt基薄膜性能与前驱体溶液浓度之间的关系；

（2） 探究薄膜结晶度和表面形貌的粗糙度与退火温度和时间的依赖关系，并从热力学角度做出解释；

2. 研究的基本内容与方案

研究的基本内容及目标：

（1） 采用溶胶-凝胶法制备均匀、无沉淀的bi_0.5na_0.5tio₃(bnt)前驱体溶液，并研究前驱体溶液浓度对溶液稳定性和成膜性能的影响；

（2） 采用旋涂法制备bnt基铁电薄膜，探索退火时间和温度对其结晶度和薄膜表面形貌的影响，并研究不同退火条件下得到的铁电薄膜电容器的介电性能和铁电性能；

3. 研究计划与安排

（1） 第1－3周：查阅相关文献资料，明确研究内容，确定方案，完成开题报告；

（2） 第4－7周：根据设计方案，选取合适的原材料并根据所需前驱体溶液浓度计算所需原料质量，采用溶胶-凝胶法制备性能稳定的bi_0.5na_0.5tio₃(bnt)前驱体溶液,确定混合前驱体溶液的较佳化学计量配比；

（3） 第8－12周：采用旋涂法制备bnt基铁电薄膜，并研究退火时间和温度对其铁电、介电性能的影响，并测试所得薄膜电容器的介电性能和铁电性能；

4. 参考文献（12篇以上）

[1] 李立本, 王晓飞, 铁电薄膜与陶瓷物理导论[m].中国原子能出版社, 2007.

[2] 马晓.bi_0.5na_0.5tio₃无铅压电材料的合成及性能研究[d]. 华中科技大学, 2014.

[3] acharyas k, lee s k, hyung j h, et al. ferroelectric and piezoelectric properties oflead-free batio₃, doped bi_0.5na_0.5tio₃,thin films from metal-organic solution deposition[j]. journal of alloys amp;compounds, 2012, 540(21):204-209.