激光加速器作为一种新型的粒子加速器技术，近年来在科学研究、医疗和工业领域展现出巨大的应用潜力。

纳米靶材由于其独特的物理和化学性质，为激光加速器的发展提供了新的机遇，能够显著提升加速粒子的能量和品质。

本文首先介绍了激光加速器和纳米靶材的相关概念，并综述了近年来国内外在纳米靶材制备与表征方面的研究进展。

重点讨论了各种制备方法，如脉冲激光沉积、化学气相沉积、溅射、电化学沉积等，以及每种方法的优缺点和适用范围。

此外，还介绍了纳米靶材的结构设计和优化策略，以及常用的表征技术，如扫描电子显微镜、透射电子显微镜、X射线衍射等。

最后，对纳米靶材在激光加速器中的应用进行了展望，并指出了未来研究方向。

关键词：激光加速器；纳米靶材；制备；表征；结构设计

近年来，随着激光技术的飞速发展，激光加速器作为一种新型的带电粒子加速器技术，以其加速梯度高、装置尺寸小、成本低廉等优势，引起了科学界的广泛关注和研究热潮[1]。

激光加速器利用超强超短激光脉冲与物质相互作用，在微米尺度内产生GeV量级的超强加速电场，将电子、质子等带电粒子加速到极高的能量。

相较于传统的射频加速器，激光加速器有望将加速器的规模和成本降低一个数量级以上，为实现小型化、台式化的粒子加速装置提供了可能，在基础科学研究、医疗健康、工业应用等领域具有广阔的应用前景[2-3]。