压电陶瓷作为一种新兴的功能材料在人们的日常生活中逐渐占有着越来越重要的地位，人们对其的使用已遍及生产及生活的各个领域，尤其在信息的检测、转换、处理和储存等信息技术领域占有极为重要的地位[1-2]。

目前大量使用的压电陶瓷是铅基压电陶瓷，主要为钛酸铅、锆钛酸铅（PZT）等含铅固溶体。

这类含铅压电陶瓷性能固然优越，但其中所含的铅会破坏环境并危害人体健康。

随着可持续发展理念的深入人心和环保意识的增强，世界各国都相继立法禁止或限制使用含铅有害材料[3]。

因此，研发新型环境友好型无铅压电陶瓷已经成为材料研究领域的热点之一。

在目前的无铅压电陶瓷体系中，主要有三种结构：ABO3钙钛矿结构、铋层状结构以及钨青铜结构[4-5]。

其中较为常见的钙钛矿结构无铅压电陶瓷有(1)BaTiO3(BT基)；(2)K0.5Na0.5NbO3(KNN基)；(3)Na0.5Bi0.5TiO3(BNT基)三种。

钛酸铋钠陶瓷(Na0.5Bi0.5TiO3，NBT)于1960年被Smolenshi发现，是一种A位复合取代的钙钛矿型弛豫铁电体，具有铁电性强、压电常数大、介电常数小、热释电性能与BaTiO3和PZT相当、声学性能良好等优良特性，被认为是最有希望取代铅基压电陶瓷的无铅体系之一[6-8]。

BNT陶瓷一直以其优良的特性受到人们的广泛关注，对钛酸铋钠基固溶体BNT-ATiO3的研究较为深入，而钛酸铋钠薄膜材料作为一种新兴压电薄膜材料，在本世纪初才得到关注并取得很大的研究进展。

目前制备BNT薄膜的主要方法物理法和化学法两大类。