1 背景介绍 新一代的微电子技术仍然需要超细有序排列微型化的高性能纳米图案[1]。

最近的极紫外（extreme-UV，简称EUV）光刻技术达到了7 nm节点级别，这一远远地克服了传统浸没式光刻193 nm分辨率的限制[2-4]。

而由于嵌段共聚物（block copolymer,简称BCP）能够很大的范围内更小的特征尺寸下进行长程有序的排列，它也为我们提供了一种备选方案。

与此同时，由于其能够自组装成周期纳米结构的特性，嵌段共聚物已引起广泛的注意，成为极具潜力的纳米材料[1]。

线性AB型二嵌段共聚物由于其结构简单，已被广泛研究[5]。

近几十年来，具有更复杂结构[6-10]的嵌段共聚物已被合成出来，例如三嵌段、多嵌段、环状、星型杂臂共聚物等，而这些独特的自组装性能也满足了各式各样纳米器件的不同需求。

2 概述 2.1 嵌段共聚物总介 嵌段共聚物由化学上不相同的聚合物嵌段组成，却能在块状或薄膜状态自组装形成所谓的”微相分离结构”的周期性纳米结构，这些结构在微电子器件、纳米多孔膜和无机材料中均有应用。

同时嵌段共聚物也具有各种不同的形貌，例如球状、柱状、螺旋状以及层状，依聚合物成分的体积分数、嵌段的不相容性、聚合度和分子体系结构的不同而不同[11-12]。

微相分离结构的周期长度（d）是统计链段长度（a）、Flory-Huggins相互作用参数（χ）以及聚合度（N）共同作用的结果，并且它们的关系可用表达式d=aχ1/6N2/3进行表示，其中χ的值与嵌段间的不相容性参数有关[13-15]。

为了在对称嵌段共聚物自组装中特征尺寸降低至10 nm以下，两嵌段间的高相互作用参数（χ）显得尤为重要，以使嵌段共聚物在很小的聚合度下便能实现微相分离。