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ZnO:P薄膜的光学与电学性质研究文献综述

 2020-04-16 15:17:09  

随着社会的飞速发展以及信息化时代的到来,材料和能源对于科技的进步是愈发重要,半导体材料是信息技术的支柱,也是新型能源开发和利用的基础。

锗是人们最开始对半导体材料的应用,当时硅锗材料是半导体材料中最主要的部分,这就是第一代半导体材料,在当时引发了整个信息产业的飞跃。

此后,化合物半导体材料(主要是砷化镓等)显示出巨大的优越性能,这被称为第二代半导体材料,半导体材料得到飞速发展。

而以氮化物,SiC和ZnO等宽禁带半导体称为第三代半导体材料,由于它们的卓越的发光性能开始占据重要地位。

宽禁带半导体中最早开发出来的是SiC,虽然研究SiC的技术已经很成熟了,但是由于以SiC为材料的发光二极管的发光效率比较低,得不到广泛的应用。

[1] 随后出现的是氮化物,主要是GaN,凭借着特别的优势加上p型掺杂的问题已经解决[2],基的材料发展及其迅速,开发出高发射强度的发光二极管系列[3]。

但是有很多因素限制了GaN的应用[4],比如GaN薄膜生长难度较高,生长温度也高,适宜的衬底材料也较少,设备昂贵等,这些因素导致生产成本很高。

ZnO是继GaN之后出现的又一种短波长宽禁带半导体,而且具备多功能应用[5]。

其主要优点是在室温条件下,自由激子的束缚能高达60meV,与GaN(24meV)相比,更适合于短波长发光二极管的制造和光的探测器件的材料。

在1996年,中国和日本的科学家研究并实现了了ZnO薄膜在室温下的光泵浦近紫外激光发射[7,8]。

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