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镀料离化率对AlN绝缘导热镀层沉积过程的研究任务书

 2020-04-24 11:16:40  

1. 毕业设计(论文)的内容和要求

1、毕业论文的内容 (1)查阅文献50篇以上,其中英文文献不少于30篇(近5年),撰写文献综述1份; (2)翻译近三年内相关外文文献至少1篇; (3)撰写开题报告及开题ppt一份,参加开题答辩; (4)试样准备:准备8个玻璃片、12个p型(100)si片、8个直径为35mm的铝合金试样(经过400,600,1500,2000号砂纸预磨),抛光。

(5)试样清洗:将抛光后的试样分别用酒精清洗3次,每次10min,吹干后备用 (6)查阅文献和书籍,熟悉微弧离子镀设备的结构和特点,了解镀料粒子离化率对aln镀层微观性能和绝缘导热性能的影响,掌握aln镀层的制备方法; (7)制定实验设计方案; (8)实验并进行相关检测分析,撰写中期报告一份并进行中期答辩; (9)总结实验结果,并进行相关实验补充; (10)处理数据,对实验结果进行归纳和分析,撰写毕业论文; (11)参加毕业答辩。

2、毕业论文的要求 (1)掌握中外文文献查阅方式; (2)熟悉磁控溅射设备原理及其操作方法; (3)熟悉相关检测设备,并能够独立完成数据处理; (4)能够独立分析解决问题,并完成毕业论文的撰写; (5)要求学生有吃苦耐劳的精神; (6)要求学生论文结构合理、层次清楚、论证充分、格式规范; (7)要求学生能够独立思考,有自己创新的观点。

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2. 参考文献

[1]陈勇. 高导热绝缘氮化铝薄膜的制备、性能及在LED上的应用研究[D]. 重庆大学, 2008. [2]Zhang H, Lee G, Gong C, et al. Grain Boundary Effect on Electrical Transport Properties of Graphene[J]. J.phys.chem.c, 2015, 118(5):2338-2343. [3]杨决宽. 微尺度热传导的分子动力学仿真与实验研究[D]. 东南大学, 2004. [4]沈敏. 基于分子动力学的氮化铝热导率的研究[D]. 江苏大学, 2006. [5]Che J, Cagin T, Deng W, el al. Thermal conductivity of diamond and related mnatcrialsfrom molecular dynamics simulations[J]. Journal of Chemical Physics, 200, 113(16): 6888-6900 [6]Yagi T, Oka N, Okabe T, et al. Effect of Oxygen Impurities on Thermal Diffusivity of AlN Thin Films Deposited by Reactive RF Magnetron Sputtering[J]. Japanese Journal of Applied Physics, 2013, 50(11):11RB01-11RB01-5. [7]Kuo P K, Auner G W, Wu Z L. Microstructure and thermal conductivity of epitaxial AlN thin films[J]. Thin Solid Films, 2004, 253(1-2):223-227. [8]冯晓利, 李志信. 纳米薄膜导热系数的分子动力学模拟[J]. 科学通报, 2000, 45(19):2113-2117. [9]肖鹏, 冯晓利, 李志信. 单晶硅薄膜法向热导率分子动力学研究[J]. 工程热物理学报, 2002, 23(6):724-726. [10]Bian Y, Liu M, Ke G, et al. Aluminum nitride thin film growth and applications for heat dissipation[J]. Surface Coatings Technology, 2015, 267:65-69.

3. 毕业设计(论文)进程安排

2018.12.28-2019.01.02 毕业论文选题 参加讨论 2019.01.03-2019.01.17 文献查阅、文献综述及开题报告撰写 参加讨论 2019.01.18-2019.01.20 开题 参加开题答辩 2019.01.21-2019.01.28 外文文献翻译 参加讨论 2019.03.01-2019.03.10 实验方案制定,实验材料准备 参加讨论 2019.03.11-2019.03.31 前期实验研究,实验结果分析 参加讨论 2019.04.01-2019.04.10 撰写中期报告 参加中期答辩 2019.04.11-2019.04.30 总结实验结果,补充实验 参加讨论 2019.05.01-2019.05.30 撰写毕业论文 参加毕业答辩

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