钛靶电流密度对40CrNiMoA基材的热影响研究任务书
2020-05-16 20:18:24
1. 毕业设计(论文)的内容和要求
本课题依据强化阴、阳极鞘层电场和提高靶功率密度可增大镀料粒子离化率,进而实现可在较大范围内调控等离子体态镀料粒子沉积成膜的凝聚热这一等离子体物理知识,以气体放电伏安特性曲线为基础,构建钛靶V-A特性大范围可调控的电场环境,以金属Ti系薄膜为载体,以40CrNiMoA钢质基体为研究对象,研究薄膜沉积过程中热积累引起钢质基体的组织和性能改变,以及基体的热积累对镀层内应力自释放效果、薄膜增厚和膜基结合强度的影响,揭示基体热影响区、镀层厚度和膜基结合强度随电场参量变化的一般规律。
2. 参考文献
[1] 周玉. 材料分析方法[m]. 北京: 机械工业出版社, 2004, 223-232.
[2] t. mews , m. ricjart, a. mougin, etal. comparative study of the epitalxial growth of cu on mgo(001)and on hydrongen terminated si(001)[j] . surface science, 2001, 481, 87-96.
[3] tang weizhong. the preparation principle technology and application(second edition) [m]. beijing: metallurgical industry press, 2003, 184-186.
3. 毕业设计(论文)进程安排
起讫日期 |
设计(论文)各阶段工作内容 |
备 注 |
1月7号到3月7号 |
查阅文献以及样品准备 |
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3月7号到15号 |
完成开题报告 |
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3月15号到4月5号 |
完成预实验,完善实验方案 |
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4月5号到5月 |
薄膜沉积,性能检测 |
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5月到6月 |
整理实验数据和论文撰写并补充实验 |
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6月 |
准备毕业答辩 |
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