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高纯碳化硅晶体的制备方法与电学特性任务书

 2020-06-25 20:48:52  

1. 毕业设计(论文)的内容和要求

毕业论文内容包括封面、中英文摘要、目录、正文、参考文献、附录(可选)、致谢(可选)等,其中正文应包括如下实验内容和分析: 1、采用高温退火研究高纯SiC晶体电阻率变化; 2、分析SiC晶体中的缺陷和电学性能的关系。

2. 参考文献

[1] P.A. Ivanov, V.E. Chelnokov, Semicond. Sci. Technol. 7 (1992) 863 [2] H. Matsunami, Jpn. J. Appl. Phys. 43 (2004) 6835#8211;6847 [3] H. Kondo, H. Takaba, M. Yamada, Y. Urakami, T. Okamoto, M. Kobayashi, et al., Mater. Sci. Forum 778#8211;780 (2014) 17#8211;21,. [4] N. Hoshino, I. Kamata, Y. Tokuda, E. Makino, N. Sugiyama, J. Kojima, et al., Appl. [5] Sriram S,Siergiej R R,Clarke R C,et al Physica.Status.Solidi,rn,,1997,162(1):441 457 [6] Kato Tomohisa,Oyanagi Naoki,Yamaguchi Hirotaka,et al,Journal D,Crystal Growth,2001,222(3):579#8212;585 [7] Augustine G,Hobgood H McD,Balakrishna V.et a1.Physica Status Solidi,(b),1997,202(1):137#8212;148 [8] 陈之战,肖 兵,施尔畏,庄击勇,刘先才大尺寸6H#8212;Si C半导体单晶材料的生长,无机材料学报,1000#8212;324X(2002)04#8212;0685#8212;06 [9] 实验研究缺陷对SiC晶体电学性能的影响,彭同华,刘春俊,王波,等.宽禁带半导体碳化硅单晶生长和物性研究进展[J].人工晶体学报, 2012, S1: 234-241. [10] V朱灿.溶液法生长碳化硅晶体中表面形貌及缺陷的研究[D].哈尔滨工业大学, 2014.王英民,魏汝省, 李斌,等.15.24cm(6 英寸)高纯半绝缘 4H-Si C 单晶生长[J].电子工艺技术, 2016, 37(5):305-306. [11] 刘军林. Si C 单晶制备与晶体缺陷研究[D].西安交通大学. 2006 [12] 宋生,胡小波,徐现刚.半绝缘 Si C 单晶生长和表征[J].人工晶体学报, 2012, S1: 166-169. [13] 陈之战,施尔畏,肖兵,等.原料对碳化硅单晶生长的影响.无机材料学报[J]. 2003, 18(4): 737-743. [14] W Ohtani N, Katsuno M, Fujimoto T, et al. Surface Step Model for Micropipe [15] Formation in Si C[J]. Journal of Crystal Growth, 2001, 226: 254-260.

3. 毕业设计(论文)进程安排

1.启动阶段(2017年12月22日之前):公布工作计划、确定指导教师、申报毕业设计(论文)题目,学生选题,任务书下达,知道学生查阅文献,做好开题前期工作。

2.开题阶段(2018年1月12日前):在广泛查阅资料的基础上,完善课题研究方案,完成外文翻译、文献综述和开题报告等工作,组织开题论证和初期检查工作。

3.实施阶段(2018年6月1日间):进行课题的实验、设计、调研及结果的处理和分析等,完成毕业设计说明书或论文写作,进行毕业设计(论文)的查阅和修改完善。

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