文 献 综 述 一、前言 微波衰减材料是一种应用于微波真空电子器件的功能材料，通过吸收特定频段的电磁波，在材料内部将微波能量转化热能的形式以耗散出去，从而达到微波衰减的效果。

其主要作用有以下几点：（1）抑制自激振荡，提高真空器件的工作稳定性；（2）在速调管谐振腔内设置衰减钉以降低谐振腔品质因数，展宽工作频带；（3）在磁控管内设置衰减器以吸收掉寄生干扰模式（缝隙模、TE121 模、背腔等），防止管子失控或停振。

目前，微波衰减材料的应用涉及到民用科技、航空、军事等多个领域，如雷达、航天飞机、天线等。

在实际应用过程中，微波衰减材料应满足多个首要条件：第一，在给定工作频段内具有良好的匹配特性，即尽可能减少材料表面对微波的反射，使微波吸收到材料内部；第二，具有一定的衰减能力，即将进入衰减材料内部的电磁波消耗掉；第三，为了防止过热引起的工作器件损坏，衰减材料应具备优异的导热性能；第四，微波衰减材料的应用，大多需经过排气、烘烤、焊接、酸碱处理等工艺才能发挥其作用，因此，衰减材料还需具备优异的物理特性（力学性能，高温稳定性）与化学稳定性。

目前，随着民用科技和军事科技的迅速发展，微波衰减材料的应用环境也越来越趋向于高温、高频、高功率等极端条件，因此，为了达到最佳的吸收效果，急需研制出适用于极端条件下的微波衰减材料。

常用的微波衰减材料按照材料的结构分类主要有两种形式: 一是薄膜结构，二是体结构，即薄膜衰减器和体衰减器。

薄膜结构一般采用热解、喷涂、真空蒸发、溅射上一层衰减物质来实现，主要有磁性材料（康乃尔合金、羰基铁粉等）、电阻型材料（如碳 、硅碳等）、电磁兼而有之的材料（FeSiAl），体结构主要有陶瓷基复合材料（Al2O3、AlN）和高分子基复合材料。

通常在微波管制备过程中，需要根据不同的管型选择使用薄膜衰减器或者体衰减器，相对于薄膜衰减器，体衰减器所能承受的功率更大，因而大功率微波器件大多采用体衰减材料。

其中，陶瓷基复合材料因具有良好的力学性能、高温稳定性、化学稳定性及优异的导热性能，其在微波衰减材料领域的应用和研究较为广泛。

二、AlN基复相微波衰减陶瓷 2.1 AlN基复相陶瓷 AlN是一种高导热材料，其理论热导率高达320W/(m#183;K)，与传统的衰减陶瓷基体BeO的热导率值较为相近，同时，AlN还有着和BeO相似的六方纤锌矿型晶体结构，其次，其适中的介电系数、优异的机械性能、良好的机械加工性能、化学和热学稳定性以及高电阻率，均使得AlN成为了一种优异的衰减陶瓷集体。