1. 研究目的与意义（文献综述）

微机电系统（即mems）是指基于半导体制作工艺发展而来的，集微机械运动、微传感器、微处理器及信号处理、控制电路、接口、通信等于一体的微型系统。

我国是从80年代末开始了对mems的研究，主要是跟踪国外的技术，包括微型电机、微型压力传感器等。研究队伍也在逐渐扩大。近年来，mems惯性传感器在中国掀起了一股热潮，主要应用在导航控制、微小行星、工业检测、汽车电子等方面。微传感器一直是mems技术的研究重点。它是一种采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、功耗低、成本低、重量轻等优点，能够实现大批量生产，也易于实现数字化、智能化。

水平传感器是用来测量物体的运动状态，如相对于水平面的倾角角度、倾斜方向、角度的变化量等。将水平传感器与mems惯性传感器技术结合起来能够在应用中更加精确地测量物体的运动特征。这种基于mems的水平传感器在航空航天、军事应用中有着重要的意义,如追踪、定位、飞行器控制等;同时在商用民用工业上的技术也日趋成熟,广泛应用于摄像机、汽车安全系统、新一代交互式游戏机、移动通信等领域。本课题将围绕基于mems的水平传感器作深入的研究。

2. 研究的基本内容与方案

基本内容、目标

实现基于mems惯性传感器的水平传感器的研究，具体要求如下：

1. 了解基于mems惯性传感器的发展历程和现状，了解理解陀螺仪和加速度计的工作原理，分析陀螺仪和加速度计的误差来源。

3. 研究计划与安排

第1周：选定毕业设计题目，并查找相关资料；
第1~3周：查找资料；撰写开题报告；；
第4周：根据系统框架确定设计方案；
第5~8周：完成硬件系统的制作与调试；
第9~11周：完成软件系统；
第12~13周：完成整个系统，并进行整机调试，修复出现的错误；
第14~16周：撰写并提交毕业论文；
第17周：答辩。

4. 参考文献（12篇以上）

[1] （德）沃克尔·肯普.惯性mems器件原理与实践[m].国防工业出版社.2016.

[2] 吕华琳.一种基于mems的光倾角传感器的设计与仿真[d].华南理工大学.2010.

[3] 郑淑孟．基于mems惯性传感器的人体姿态和位移检测[d].暨南大学.2015．