1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

传感器技术作为信息技术的三大基础之一，是当前各发达国家竞相发展的高新技术，是进入21世纪以来优先发展的十大顶尖技术之一。

传感器技术作为信息技术的三大基础之一，是当前各发达国家竞相发展的高新技术，是进入21世纪以来优先发展的十大顶尖技术之一。

传感器技术所涉及的知识领域非常广泛，其研究和发展也越来越多地和其他学科技术的发展紧密联系。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

２．本课题要研究或解决的问题和拟采用的研究手段（途径）： 电容式压力传感器因其高灵敏度和低功耗的优势得到越来越多的关注，但是由于敏感机制的局限性，基于极板间距变化的电容式压力传感器都存在非线性。

本课题拟利用接触式与非接触式电容结构进行组合对电容式压力传感器的线性度进行优化并建立对应的优化规则。

了解接触式和非接触式电容式压力传感器工作原理器；对利用接触式和非接触式电容结构组合非补偿的方法进行验证，探索线性度补偿规则，建立相关线性度补偿原理。