一 课题研究的背景及意义 传统电容式压力传感器大多属于间距变化型电容式传感器，这种传感器不可避免地存在非线性,并且结构加工复杂。

而介电应变式压力传感器属于介电性变化型电容式压力传感器。

相比传统电容式压力传感器而言，介电应变式压力传感器从应用原理上就有很大的不同,并且不存在非线性问题。

关于介电应变式压力传感器的设计需要分析介质在应力作用下介电性的变化。

电介质材料作为一种弹性机械材料，其介电常数会随着外力作用下产生的形变而发生变化，这是对于任意弹性介电材料具有的普遍的介电物理效应。

弹性电介质材料的这种机电耦合效应，被称为介电电致伸缩效应。

这种影响可以用介电电致伸缩系数来表征。

已有研究证明介电常数变化和应力之间存在线性关系。

热氧化SiO2作为一种介质，广泛用于MEMS和集成电路中，其具有介电电致伸缩效应将直接影响相关电容器件的性能。

已有部分研究利用热氧化SiO2材料作为一种薄膜在传感器中使用。