1. 毕业设计（论文）的内容和要求

对铁电薄膜材料展开调研，选择出合适的材料应用于介电应变式压力传感器。

设计出传感器结构并对结构性能进行分析。

2. 参考文献

[1] 周闽新.多层膜结构电容式压力传感器及其CMOS兼容工艺的研究[D].南京:东南大学，2006． [2] 孙训方，方孝淑，关来泰．材料力学(1)[M]．北京：高等教育出版社，2002． [3] 温保松.严鸿萍.马佳华.PMN基电致伸缩陶瓷电致应变温度特性 [4] 王虹. 电致伸缩效应及其应用[J]. 物理, 1994, 14(12):734-737. [5] 张磊, 梁辉, 徐廷献. 钛酸锶钡电介质材料的掺杂改性及其应用[J]. 硅酸 盐学报, 2002, 30(6): 785-788. [6] 王疆瑛, 姚熹, 张良莹. 钛酸锶钡(BaxSr1-x TiO3)陶瓷制备及其介电性能的研究[J]. 功能材料, 2004, 2(35): 212-217. [7] 肖飞.天津大学.钛酸钡(BaTiO3)基无铅电致伸缩陶瓷的制备与性能研究 [8] 喻佑华，冯楚德等，前驱体制备途径对PFN-PMN二元铅基铁电陶瓷性能的影响，无机材料学报，200l：1l28～1137 [9] 锆钛酸铅镧薄膜的制备与性能研究_南瑞华 [10] PZN基复相陶瓷介电性能和电致伸缩性能的研究[11]《单片机原理与应用技术》 魏立峰、王宝兴 北京大学出版社 2006.8 [12] Huang J Q，Huang X D，Huang Q A．Experimental study on the dielectic#8212;deformation behavior of Si02 in a sandwich structure[C]．M S 2008，Tucson，AZ，USA，2008：13#8212;17． [13] Wen S H，Chung D D L．Effect of Stress on the Dielectric Constant of Alumina[J]．Journal of Electronic Packaging，2005，127：235#8212;236． [14] Lee H Y，Shkel Y M，Dielectric response of solids for contactless detection of stresses and strains[J]．Sensors and Actuators A，2007，137：287#8212;295．

3. 毕业设计（论文）进程安排

2016-01-01～2016-01-23 查阅资料，理解研究课题原理，完成开题报告 2016-03-1～2016-03-16 选择合适铁电材料研究特性 2016-03-17～2016-04-04 进行薄膜模型设计，调整各参数进行模拟 2016-04-05～2016-04-25 各模型进行后处理并对比 2016-04-26～2016-05-10 总结结果，撰写毕业论文 2016-05-11～2014-05-31 进一步完善毕业论文 2016-06-01～2016-06-14 准备答辩