1. 毕业设计（论文）的内容和要求

内容: 对压阻式压力传感器的膜形变能进行分析，建立压阻式压力传感器的性能表征方法。

用ansys软件对建立的表征方法进行验证。

要求: 1.能够计算薄膜形变后能量变化总量 2.能够确定薄膜敏感度最佳位置 3.能够计算传感器的整体性能

2. 参考文献

[1]Stephen D.Senturia著.刘泽文等译.微系统设计. 电子工业出版社.北京.2004.11 [2]刘鸿文著.板壳理论.浙江大学出版社. 浙江.1987.10 [3]王鹏著.弹性地基上四边自由矩形板的变分解.西南交通大学研究生学位论文. 2007.12 [4]田斌著.弹性矩形板动静力分析的有限积分变换法.博士学位论文. 2010.10 [5]娄利飞著.微机电系统与设计.电子工业出版社.北京.2010.5 [6]胡海昌著.弹性力学的变分原理及其应用.科学出版社.1981.5 [7]余剑锋著.压力微传感器性能测试与研究.北方工业大学硕士研究生学位论文.2013.6 [8]王淑华著.MEMS传感器现状及应用.中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄.050051 [9]张子鹤著.压力传感器的设计与封装技术研究.电子科技大学硕士学位论文.2012.4 [10]李佳玮著.MEMS压力传感器稳健设计方法研究.北方工业大学硕士研究生学位论文.2014.6 [11]赵艳平著.压力传感器弹性元件的力学性能分析与研究.江苏大学硕士学位论文.2007.1

3. 毕业设计（论文）进程安排

2014-01-01～2014-01-23 查阅资料，理解基本原理，完成开题报告 2014-03-1～2014-03-16 对课题各个模块进行设计 2014-03-17～2014-04-04 运用MATLAB编程，画出软件流程图，编写程序 2014-04-05～2014-04-25 ANSYS有限元分析进行仿真 2014-04-26～2014-05-10 撰写毕业论文 2014-05-11～2014-05-31 进一步完善毕业论文 2014-06-01～2014-06-14 准备答辩