1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述 1.引言 1.1研究背景 mems(mieor一elecotr一meehaniealsystems)是微机电系统的缩写,mems主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的信号处理电路等几部分,它是在融合多种微细加工技术,并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。

改革开放30 年来，传感器的发展取得了长远的发展：mems研究项目已列入了国家高新技术发展重点；在”九五”国家重点科技攻关项目中，传感器技术研究取得了51个品种86个规格新产品的成绩，初步建立了敏感元件与传感器产业；2007年传感器业总产量达到20.93亿只，品种规格已有近6000种，并已在国民经济各部门和国防建设中得到一定的应用。

压力传感器在整个mems行业,无论是设计研究还是产业应用中都占主要地位，它是基于平面工艺和立体声处理相结合的一种技术，便于在技术中实现，且能够较快的投入到生产应用中去，压力传感器技术已经与其他技术结合，越来越多将压力传感器技术与其他技术结合起来，形成系统集成技术。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

深入理解弹性力学和微系统设计的能量法原理，作为压阻式压力传感器的设计基础，通过实例计算归纳总结压强载荷与能量关系。