1. 研究目的与意义（文献综述）

2. 研究的基本内容与方案

本内容，电阻率是半导体材料中一个很重要的性能指标，通过测量面导体材料的电阻率可以得到材料的掺杂浓度等重要信息，因为它将直接影响到面导体的导电性能，目前四探针法微电子行业最常用的测量材料电阻率的重要方法，对它的测试精度及测试手段有着非常严格的要求。因此，对它的研究有着非常重要的意义和实际开发价值。无论是半导体材料制造商还是用户都十分看重这一决定材料特性的重要参数。

3. 研究计划与安排

第1－3周：查阅相关文献资料，明确研究内容，了解研究所需测量参数。确定方案，完成开题报告。

第4－9周：研究测量原理，完成介质材料电特性的计算方法，形成模拟结果。

第10－13周：获取测试数据，修正介质材料电特性的计算方法，完成测量计算的评价。

4. 参考文献（12篇以上）

[1] 晏敏. 智能四探针电阻率测试仪研究及开发[d]. 湖南大学, 2005.