1. 研究目的与意义（文献综述）

二氧化锡为白色、淡黄色或淡灰色四方、六方或斜方晶系粉末（如图一所示），亦称为“氧化锡”、“锡酐”、“锡灰”，天然矿产物称为“锡石”。

图1sno₂晶体结构示意图

2. 研究的基本内容与方案

2.1研究的基本内容

1) 原子层沉积技术(ald)的技术原理和工艺流程；

3. 研究计划与安排

第1－3周：查阅相关文献资料，明确研究内容，了解研究所需文献。确定方案，完成开题报告。

第4－6周：查阅参考文献，了解sno2的光电性能。

4. 参考文献（12篇以上）

[1] ávilavázquez v, galvánvalencia m, ledesmagarcía j, etal. electrochemical performance of a sb-doped sno₂ supportsynthesized by coprecipitation for oxygen reactions[j]. journal of appliedelectrochemistry, 2015, 45(11):1175-1185.

[2] roose b, johansen c m, dupraz k, et al. a ga-doped sno₂ mesoporous contact for uv stable highly efficient perovskite solar cells[j].journal of materials chemistry a, 2018, 6(4).