1. 研究目的与意义（文献综述）

精密位移测量及定位技术是一项与许多生产实践密切相关的高新技术，它在精密位移加工、半导体器件制造、电子产品组装线、高清晰显示器件制作及纳米技术研究开发等领域具有广泛的应用。近些年来，随着精密位移检测及定位技术的不断创新，利用激光莫尔信号来检测位移误差，从而实现高精度定位的方法已成为研究的重点。

莫尔条纹是光栅位移精密测量的基础，在实际应用中由两个空间频率相近的周期性光栅图形叠加而形成的光学条纹就是莫尔条纹，可以由遮光效应、衍射效应和干涉效应等多种原理产生。莫尔条纹的科学含义是指两个周期性结构图案重叠时所产生的差频或拍案团，例如两个周期相同光栅以一个小角度相互倾斜重叠后所产生的莫尔条纹。

现代光栅是用精密的刻画机在玻璃或金属片上刻划而成的，光栅相邻刻划之间的距离称为光栅栅距，亦称光栅节距或光栅常数，光栅栅距是位移测量的基准。

2. 研究的基本内容与方案

2.1设计的基本内容

总结精密位移与检测的基本方法，重点研究通过光栅干涉莫尔信号实现精密位移检测与控制的方法。通过仿真分析莫尔条纹的特性，并设计提高位移检测精度的方法。

2.2设计的目标

3. 研究计划与安排

第1-4周：查阅相关文献资料，明确研究内容，准备相关资料和技术条件。确定方案，完成开题报告；

第4-6周：整理相关资料并进行设计；

第7-12周：撰写论文并送导师审阅；

4. 参考文献（12篇以上）

[1] 张金龙, 余玲玲, 内田敬久. 基于莫尔信号的精密位移测量与控制的研究[j]. 光学技术, 2005, 31(5): 701-703.

[2] 张金龙. 精密位移定位理论方法及应用技术的研究[d]. 南京: 东南大学, 2007.

[3] xu g, qiuhua w , xinran l , et al. automatic compensation system for moire fringephotoelectric signal[j]. infrared and laser engineering, 2016, 45(2):217002.