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1. 研究目的与意义及国内外研究现状

近年来，zno 薄膜的高电导率和高可见光区透射率等特点使其在透明导电材料（tco）领域得到广泛应用，掀起了人们对其研究的热情。作为之前被广泛应用的ito 材料的替代材料，zno 具有较好的化学和机械稳定性，高的抗还原性且自然界储量丰富，被认为是最具发展潜力的 tco 材料，在太阳能电池、半导体激光器（ld）、发光二极管（led）等光电器件上得到了广泛的应用，并已经成为透明导电膜的主角。

然而由于zno本身的缺陷，其表现出n型导电。同时理论计算预言了n元素的掺杂是zno薄膜实现p型导电的最佳元素。作为新型氧化物薄膜材料的代表之一,掺氮氧化锌薄膜凭借着其丰富的源材料、稳定性强、优异的光电特性等优势得到大家越来越多的关注。同时，随着科技的进步，越来越多的工艺被应用到制备掺氮氧化锌薄膜中，并取得了成功。

现在制备zno:n薄膜工艺比较成熟的有化学气象沉积法、磁控溅射法和溶液法，每种工艺制备条件各不相同，各有千秋，制备出的薄膜的效果也不尽相同。

2. 研究的基本内容

1.了解氧化锌透明导电薄膜的基本结构和性质，并进一步分析掺n氧化锌薄膜的结构变化和光电特性；

2.掌握包括化学气象沉积法、磁控溅射法和溶液法在内的几种典型制备掺n氧化锌薄膜的方法；

3.设计方案利用pld制备掺n氧化锌薄膜，分析制备过程中各种因素对掺n氧化锌薄膜结构性能和光电特性的影响，掌握对实验数据的分析处理方法；

3. 实施方案、进度安排及预期效果

4. 参考文献

1. 毛飞燕 ， 邓宏 ， 戴丽萍 ， 汤采凡,掺N的ZnO薄膜制备和性能研究,四川省电子学会传感技术学术年会 , 2007
2. LIU Dali ， DU Guotong ， WANG Jinzhong ， ZHAHG Yuantao ， ZHANG Jinglin,ZnO薄膜的掺杂特性,《发光学报》 , 2003
3. LIU Bingce ， LIU Cihui ， SUN Lijie ， YI Bo,ZnO薄膜微结构变化对光电特性的影响,《发光学报》 , 1900