1. 毕业设计（论文）主要内容：

ta₂o₅薄膜的光谱透过波段为0.3～10μm，是可见光到近红外波段重要的高折射率材料之一。

ta₂o₅薄膜具有较高的折射率和热稳定性、低吸收、无定形微结构和耐化学腐蚀等优点，广泛应用于制备多种光学元件的减反膜、高反膜、分光膜和干涉滤光膜。

本设计拟采用原子层沉积技术(ald)制备ta₂o₅薄膜，研究工艺参数对ta₂o₅薄膜光学特性的影响。

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2. 毕业设计（论文）主要任务及要求

1、查阅不少于15篇的相关资料，其中英文文献不少于3篇，完成开题报告。

2、掌握ald的操作方法及ta2o5的制备工艺。

3、优化ta2o5薄膜的光学性能。

3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排

第1－3周：查阅相关文献资料，明确研究内容，了解研究所需文献。确定方案，完成开题报告。

第4－6周：查阅参考文献，熟悉ta₂o₅薄膜的性能

第7－11周：ta₂o₅薄膜的实验制备。

4. 主要参考文献

[1]刘华松,杨霄,王利栓等，离子束溅射氧化钽薄膜的光学带隙特性[J]，光学精密工程，2017，25（1）：21-27.

[2]袁文佳， 沈伟东， 郑晓雯等，离子束溅射制备Nb₂O₅、Ta₂O₅和SiO₂薄膜的光学、力学特性和微结构[J],光学学报,2017,37(12):364-371.

[3]Qipeng Lv, Mingliang Huang, Songwen Deng et al. Effects of oxygen flows onoptical properties, micro-structure and residual stress of Ta₂O₅ films deposited by DIBS[J], Optik, 2018,166: 278–284.