1. 研究目的与意义（文献综述）

薄膜材料是指分子、原子或离子在基底表面沉积形成的一种特殊的二维材料，与体积材料相比有着许多独特的光学和电学性质。金属薄膜材料的电磁性能、光学性能以及力学性能具有其他薄膜材料不可替代的优越性，因此在微电子器件、光学器件和通讯工程中有着更广阔的应用空间。当薄膜厚度降低至纳米量级时，将出现很多新的现象。因为纳米薄膜的尺寸很小，使得表面积与体积的比值大大增加，表面效应所表现出的性质非常突出，因而在光学性质和电学性质上有了许多独特的表现。纳米薄膜不仅仅应用于传统光学领域，在生产实践中也得到了越来越广泛的应用，尤其是在光通讯，光学测量，微电子器件，生物与医学工程等领域的应用空间更为广阔。

1883年，迈克尔逊干涉仪的诞生对人类的测量事业具有里程碑式的意义，薄膜的厚度测量范围能够到光波波长的阶段。而随着x射线、β射线、α射线、γ射线和激光等被应用到薄膜厚度检测领域中，检测范围能够达到100nm以下，检测精度能够达到nm级。

经过许许多多科学工作者的不断研究和探索，提出了很多种测量金属薄膜厚度的方法，一般可以分为非光学方法和光学方法，非光学方法主要有电阻法，电容法，涡流法以及探针法，光学方法主要有椭圆偏振法，干涉法，光谱法以及棱镜耦合法。对于厚度在纳米量级的薄膜，利用光学原理的测量技术应用最为广泛，相较于其他方法，光学测量方法具有精度高，速度快，无损测量等优势而成为最主要的检测手段。其中白光干涉法具有对环境不敏感、抗干扰能力强、测量动态范围大、结构简单等优点。特别是，选用宽谱光源的白光干涉法相较于其他窄带光源干涉法，由于中心零级干涉条纹的存在，只用一个干涉仪即可实现对被测物理量的绝对测量。

2. 研究的基本内容与方案

基本内容、目标：

以贵金属薄膜为样品，利用白光干涉法实现纳米级薄膜厚度测量，对实验的精确度和误差来源进行深入的研究和分析。

1、了解纳米贵金属薄膜厚度的常用检测方法，分析白光干涉法用于测量金属薄膜厚度的问题，掌握白光干涉的原理和信号解调技术；

3. 研究计划与安排

第7学期：完成选题和任务布置

第8学期：

第1-3周：查阅相关文献资料，明确研究内容，了解纳米级薄膜厚度的测量方法，并掌握白光干涉信号与薄膜厚度的关系，完成开题报告；

4. 参考文献（12篇以上）

[1] 陈燕平,余飞鸿.薄膜厚度和光学常数的主要测试方法[j].光学仪器,2006,28(6):84-88.

[2] 辛金栋.纳米级金属薄膜厚度的spr检测方法研究[d].天津:天津大学,2011.

[3] 徐春晖.纳米薄膜厚度的光学测量方法研究[d].武汉:武汉理工大学,2016.