1. 研究目的与意义（文献综述）

1、目的

设计一种使用激光测微仪对电容式位移传感器进行校准的方法，即通过压电陶瓷驱动器产生微位移，以及激光测微仪同步测量用来对电容位移传感器的动态特性进行校准，建立一个提高电容式位移传感器测量精度的系统。

2、国内外的研究现状分析

2. 研究的基本内容与方案

1、基本内容

设计一种基于压电陶瓷的微位移测量校准系统，利用压电陶瓷驱动器产生微位移，用位移传感器测量产生的微位移，并用激光测微仪同步测量，将两组数据进行对比确定电容位移传感器的测量线性度和灵敏度，通过分析特性对其进行校准。

2、目标

3. 研究计划与安排

4. 参考文献（12篇以上）

[1]张涛，孙立宁，蔡鹤皋.压电陶瓷基本特性研究.光学精密工程.1998.10

[2]刘泊.压电陶瓷微位移驱动器建模与控制.光学精密工程.2013.06

[3] 李晓娟,李全禄,谢妙霞,郝淑娟,杨贵考,周九茹,马晴.国内外压电陶瓷的新进展及新应用.硅酸盐通报.2006.08