文 献 综 述

1. 硅微机械陀螺仪国内外研究现状

1.1国外研究发展概况

国外硅微机械陀螺仪最早出现在80 年代后半期，至今已有二十多年的发展历史。

目前，美国、德国和日本等发达国家在硅微机械陀螺仪的研究方面处于领先地位，并已

取得市场效益。自1988 年美国德雷珀实验室（The Charies Stark Draper Lab, Inc.简称CSDL）率先公布了世界上第一个静电驱动的框架式硅微机械陀螺仪。

2009 年，加州大学欧文分校的研究者研制出一种新双质量块结构形式的硅微机械陀

螺仪，如图1-6 所示。该结构定义检测模态的振动为线性耦合的反相振动，以提高检

测模态的品质因数，利用一种特殊的杠杆结构使驱动方向上双质量块的同相振动模态频