全文总字数：2843字

1. 研究目的与意义及国内外研究现状

随着科技发展，半导体芯片生产逐渐进入大规模、自动化、智能化阶段，而对于一个半导体车间而言，安全问题是极为重要的问题，而安全问题的关键便是温度与粉尘浓度的监测与控制。传统的半导体车间的温度与粉尘浓度监测与控制往往由人工完成，缺乏自动化，极大的浪费了人力资源。传统方法主要是通过在温室内放置温度计、粉尘浓度监测计来测量温室大棚内的温度和粉尘浓度，通过固定时间间隔观测，人工获得温度值与粉尘浓度。在获得温度与粉尘浓度数值后，根据已有的经验做出判断，当前温室内的温度与粉尘浓度是否在一个合理的范围之内。发现温室内温度过高或粉尘浓度过高就采取通风措施和喷雾措施来降低温度和粉尘浓度，在这个过程中，看管人员需要花费大量的时间使温室内温度与粉尘浓度时刻处在合理的范围之内。而到了自动化智能系统普及的现在，人们对于传统费时费力的工作有了更高的效率要求，往往一个看管人员需要监测管理很多个车间，传统的方式已经不足以满足生产要求了，因此需要更好的方法进行半导体车间的温度与粉尘浓度调节控制。

国内外研究现状

半导体车间的温度、粉尘浓度自动监测控制系统在国内外都到研究与发展。半导体车间温度、粉尘浓度监测控制系统从开始的由人工调节达到安全范围内的温度、粉尘浓度，到现在发展到采用单片机为核心控制系统的自动监测控制其温度与粉尘浓度。温度、粉尘浓度监测控制系统主要由温度检测模块，粉尘浓度检测模块，模数转换系统，显示模块，大功率电气设备（如风扇、喷雾装置）以及核心控制系统组成。温度检测模块和粉尘浓度检测模块一般使用温度传感器和粉尘浓度传感器搭建。温度传感器从1821年由德国物理学家赛贝发明后到热电偶传感器。在由德国西门子发明了铂电阻，后在半导体技术的支持下相继开发了半导体热电偶传感器、pn结温度传感器和集成温度传感器。20世纪90年代时又发明了智能温度传感器。这样可控制的温度范围有所加大，温度控制的精度也逐步提高。粉尘浓度传感器的发展例程大致与温度传感器类似，如今最常用的是由灵敏电阻作为灵敏器件的智能粉尘浓度传感器。模数转换系统是现实中各种模拟信号通向数字化数字世界的桥梁。单片机是一种集成电路的芯片。从1976年起是单片机的开始阶段到1978年的单片机的完善阶段。到了1982年后到1990年，8位的单片机得到巩固发展，以及16位单片机推出。从1990到现在微控制器的全面发展阶段。所以单片机深入了各个领域的发展与应用。因此产品越来越智能化多样化。显示一般由数码管和液晶显示。大功率电气设备用于改变当前环境中的温湿度值，主要由继电器、风扇、喷雾装置构成。

国内温湿度调节的现状多为传统式电子产品，而国外温度、粉尘浓度监测控制技术发展较为成熟。温度、粉尘浓度传感器采用灵敏电阻，部分产品温度设定和风扇开关通过触摸键和液晶显示屏实现人机交互界面切换自动完成，运算放大电路和开关电路实现双位调节。这类智能温度、粉尘浓度监测控制产品改善了人机交互界面，解决了“温度设定分度值过粗”等问题，但仍存在“控制精度不高”、“时间常数大”、“操作较复杂”等问题。近年来，温度、粉尘浓度控制器正朝着高精度、多功能、总线标准化、高可靠性及安全性、开发虚拟温度控制器和网络粉尘浓度度控制器等高科技的方向迅速发展。

2. 研究的基本内容

本课题的研究内容有如下几点：

本课题是研究基于stc89c51单片机的温湿度调节控制系统设计，研究的内容主要包括如下几个方面：

3. 实施方案、进度安排及预期效果

实行方案：

整体流程如下图所示

4. 参考文献

[1] 陈权昌,李兴富.单片机原理及应用[m].广州:华南理工大学出版社,2007.84~102.

[2] 李庆亮.c语言程序设计实用教程[m].北京:机械工业出版社,2005.32~58.

[3] 杨志忠.数字电子技术[m].北京:高等教育出版社,2003.125~132.