1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

一、测微量氧的原因

随着我国经济的快速发展，企业越来越关注产品的质量，在空分和工业气体生产和应用中，氧含量一直是一个重要的控制指标。这主要是由于氧气是一种化学活性较强的物质，是一种较强的氧化剂。由于氧气无处不在，无孔不入，在某些特殊领域，控制和防范它成为一项高难度的课题。在半导体生产工艺中，用到大量高纯气体、电子工业用气体，而氧气所引起的氧化作用是造成器件性能退化、寿命缩短的主要因素。在 mocvd ( 金属有机化学气相沉积) 工艺中，反应剂和掺杂剂含氧量过高，会严重影响外延层结晶及电学性能。在我国国家标准及 semi 标准中，对大多数的高纯气体及电子工业用气，都要求准确测定其中微量氧的含量并将氧气含量列为必控指标。由于大气中含有大量的氧 (约21%) ，准确测定高纯气体中微量乃至少量氧，是气体分析中的难点之一。

二、气体中微量氧的测定方法

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

一、课题研究内容

实现简单、快速、准确测量气体中的氧气含量，并且将氧气含量这个物质信号转化成工业所需的4-20ma电流信号输出。考虑到设计的性能和价格等因素，采用两种方法。一种基于单片机，还有一种基于模拟电路。

二、拟采用研究手段