当下扫描电镜正在向基于计算机控制的人工智能化发展，力图使用安全可靠,摆脱对实验人员技术熟练程度的依赖性，减轻工作强度,并提高其分析结果的精确性和可重复性。解决途径之一是采用电子计算机进行全面控制。它主要包括以下几个方面：

1.安全保护

2. 自动控制操作

这方面主要包括抽真空程序的自动控制，电子枪对中的自动控制，最佳电子光学成像条件的自动控制，例如自动聚焦 (AFC)，自动消像散 (ASC) ，自动亮度和衬度控制( ABCC)，动态聚焦等。从目前来看，自动聚焦和自动消象散控制仍存在质量问题，有时效果还不如人工调节的质量好。

3 试验条件参数的预置和记忆

4 自动图像分析

所谓图像分析，它是指在数字图像中所包含的大量原始数据中提取有价值的信息。

本次毕业设计主要围绕第二点:自动控制操作中的自动聚焦展开.

当SEM工作时，会有许多因素（如载入切片、样品台的位置发生改变或漂移、电子透镜的放大倍率改变、电子束的不稳定等［１］）造成系统的对焦状态发生改变，从而降低ＳＥＭ图像质量。为了高效地获得清晰的电子束图像，扫描电子显微镜需具备快速、精密的自动对焦功能。目前德国的SEM设备，主要采用基于灰度梯度类函数或频类函数的自动对焦技术［２－４］。基于灰度梯度类函数的对焦技术处理速度快，但对噪声非常敏感。当图像噪声较大时，其对焦算法曲线会出现多峰，从而影响对焦的准确性，可能造成对焦失败。基于频域类函数的对焦技术，具有一定的抗噪性，但处理速度很慢，难以用于实时对焦的场合.同时由于生物样本的独特性,频域类函数往往无法取得集成电路领域那样的准确性。