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1. 1. 毕业设计（论文）的内容、要求、设计方案、规划等

一、前言

微谐振器是微机电系统（mems）的典型器件，广泛应用于高频和高精度的驱动器和传感器。mems微镜是一种典型的微谐振器件，广泛应用于微光电领域。利用mems扫描镜技术提高汽车安全性，是当前业界趋之若鹜的技术。先进驾驶辅助系统(adas)的激光扫描雷达，mems微型投影仪和平视显示器(hud)都是利用微型mems扫描镜技术实现的。本课题研究对象为mems激光hud，具有微型化、功耗小、无需对焦、分辨率高等优点。这种设备的核心器件为框架式微镜。利用catia/ansys软件建立微镜模型，并利用有限元方法进行相关动力学分析。研究微镜结构对振动模态的影响，探讨微镜尺寸、固有频率的选取，研究热弹性能量耗散。研究的目的是：掌握零件的有限元分析方法，了解振动模态对产品性能的影响。

2. 参考文献（不低于12篇）

[1]吴培. 基于数字微镜器件的高动态像素级调光的成像技术研究[d].中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,2017.

[2]郑丽云. mems微镜阵列单元设计研究[d].杭州电子科技大学,2015.

[3]徐正平.数字微镜器件在光电设备中的应用[j].激光与光电子学进展,2014,51(05):91-100.