1. 毕业设计（论文）主要内容：

射频微机电原件中悬臂梁是最基本的机械结构。

利用物理软件仿真，对微振荡器中的悬臂梁非线性形变进行研究，完成微振荡器动态行为控制及优化

2. 毕业设计（论文）主要任务及要求

1.查阅不少于15篇相关文献，其中英文文献不少于2篇，完成开题报告。

2.理解射频微振荡器原件，规划并建立三维模型。

3.学习comsol仿真软件，并利用其进行应力变形研究。

3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排

第1周~第3周：阅读微机电系统及射频微机电原件相关文献，理解其原理，并进行技术综述。

第4周~第5周：学习并掌握comsol多物理场仿真软件的建模以及仿真。

第6周~第12周：设计微振荡器，并建立二维和三维模型，利用仿真软件进行物理行为预测，实现对振荡过程的位移记录。

4. 主要参考文献

[1] Chang Liu 著，黄庆安 译，微机电系统基础，机械工业出版社，2013.

[2] 苑伟政 等，微机电系统，西北工业大学出版社，2011.

[3] 曹建福 等，非线性系统理论及应用， 西安交通大学出版社，2006.

[4] Zachary J Davis et al. Microelectronic Engineering, 84, 1601-1605, 2007.

[5] Jan Bienstman et al. Sensors and Actuators A, 66, 40-49, 1998.