1. 毕业设计（论文）主要内容：

微静电马达是微机电中的典型运动机械。

本课题根据静电马达的运动原理，设计其相应的结构，并讨论利用微加工工艺进行至少三种不同的结构静电马达的设计。

2. 毕业设计（论文）主要任务及要求

2.理解微尺寸静电马达的工作原理

3.根据要求设计出微尺寸静电马达结构，并进行微加工工艺路线规划。

3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排

第1周~第3周：寻找关于微尺寸静电马达的资料，进行前期资料搜集整理，并进行初步设计。

第4周~第5周：学习并掌握cad软件进行绘图，学习并掌握微机电系统的原理及工艺方法。

第6周~第12周：设计至少三种微尺寸静电马达，设计出相应的微加工工艺路线。

4. 主要参考文献

[1] Chang Liu 著，黄庆安 译，微机电系统基础，机械工业出版社，2013.

[2] 苑伟政 等，微机电系统，西北工业大学出版社，2011.

[3] W. Zhang et al. / Microelectronics Reliability 45 (2005) 1230–1242

[4] Chapman PL, Krein PT. Smaller is better? Micromotors and electric drives. Indust Appl Mag, IEEE 2003;9(1):62–7.

[5] Buttgenbach S, Bute#64257;sch S, Leester-Schadel M, Wogersien A. Shape memory microactuators. Microsyst Technol 2001;7(4):165–70.