文 献 综 述 1、课题研究的意义与背景 社会的发展日新月异，随着科学技术的进步，对制造加工的技术要求也随之增大。

当今压电微喷技术广泛应用于灌溉、喷墨打印、医疗保健、航空航天等领域，因此对压电微喷的自动化、智能化以及新的压电微喷技术的研究尤为重要。

首先，压电效应是指某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时,其内部会产生极化现象，同时在它的两个相对表面上出现正负相反的电荷。

当外力去掉后,它又会恢复到不带电的状态，这种现象称为正压电效应[1]。

当作用力的方向改变时,电荷的极性也随之改变。

相反，当在电介质的极化方向上施加电场，这些电介质也会发生变形，电场去掉后，电介质的变形随之消失，这种现象称为逆压电效应。

其次，压电微喷即是指利用压电原理进行微喷而达到目的的技术。

MEMS（Micro Electro Mechanical System）即微电子机械系统，微电子机械系统的起源与微电子技术的发展密切相关。

1947年半守体萌体管的发明，20 世纪50年代末至60年代初半导体集成电路的研制，使得人类在微米尺寸尺度上大规模制作电子元件、器件与电路。

20世纪60年代末到70年代初，美国、日本等国相继以压阻效应为基础，研究出扩散压力传感器。