1. 毕业设计（论文）主要内容：

高精度电容读取技术对于微机电系统（MEMS）电容式传感器有着重要的应用价值。本课题的目的是在现有研究技术的基础上，设计并改进微弱电容读取方法，以充分体现MEMS传感器小型化、集成化的优势，设计、开发出噪声小、灵敏度高、精度高的新型纳牛级别的电容式力学传感器。

2. 毕业设计（论文）主要任务及要求

1. 进行文献调研，完成电容式力传感器的文献综述；

2. 拟定微型电容式纳牛级力传感器的总体结构设计方案；

3. 进行微型电容式纳牛级力传感器的力学仿真和结构优化；

3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排

1. 3.3～3.12. 1.5周 查阅收集有关课题资料，并做好笔记、周记，完成开题报告。

2. 3.13～3.23. 1.5周 设计传感器总体方案。

3. 3.24～3.30. 1周 进行传感器理论建模。

4. 主要参考文献

[1]高晓丁，许卫星，胥光申电容式力传感器的研制[J]. 传感器技术，2002

[2]陈志勇，周斌，张嵘.一种提高电容式力传感器线性度的结构设计[J]. 传感技术学报。 21， 4，2008